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发明名称 INSPECTING APPARATUS OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01299404(A) 申请公布日期 1989.12.04
申请号 JP19880131062 申请日期 1988.05.27
申请人 SHARP CORP 发明人 ICHIKAWA MASAMI
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H05K3/00;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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