| 发明名称 |
THIN FILM FORMATION, APPARATUS THEREFOR, AND SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01298725(A) |
申请公布日期 |
1989.12.01 |
| 申请号 |
JP19880128372 |
申请日期 |
1988.05.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUZUKI YASUMICHI;SAITO YUTAKA;SASABE SHUNJI;NAKAJIMA KAZUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/768;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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