发明名称 Improvements relating to the manufacture of semi-conductor devices
摘要
申请公布号 GB1098398(A) 申请公布日期 1968.01.10
申请号 GB19650017525 申请日期 1965.04.26
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-G.M.B.H. 发明人 SCHIMMER RIGOBERT;WULF JOHANNES
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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