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发明名称 PLASMA SURFACE TREATMENT METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0248274(A3) 申请公布日期 1989.11.29
申请号 EP19870107321 申请日期 1987.05.20
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOKAKU, YUICHI;KITOH, MAKOTO;HONDA, YOSHINORI
分类号 C23C14/02;B29C59/14;C23C16/50;C23F4/00;(IPC1-7):B29C59/14;B29C71/04;H01J37/32 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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