发明名称 CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01293177(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880124704 申请日期 1988.05.20
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 KATAOKA KAZUO
分类号 B08B5/02;B08B3/02;B08B7/00 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
主权项
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