发明名称 HETERO EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH01292814(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880123505 申请日期 1988.05.20
申请人 SONY CORP 发明人 TAMAMURA KOJI;AKIMOTO KATSUHIRO;MORI YOSHIFUMI
分类号 C30B1/02;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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