| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01292860(A) |
申请公布日期 |
1989.11.27 |
| 申请号 |
JP19880121723 |
申请日期 |
1988.05.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIRAIWA ATSUSHI;IIJIMA SHINPEI;KOBAYASHI TAKASHI;YOSHIGAMI JIRO |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/20;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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