发明名称 VERFAHREN ZUR ERFASSUNG SCHNELL ABLAUFENDER PROZESSE IN INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN UNTER VERWENDUNG EINES LASER-RASTER-MIKROSKOPES MIT OBIC-STUFE
摘要
申请公布号 DD273695(A1) 申请公布日期 1989.11.22
申请号 DD19880317516 申请日期 1988.07.04
申请人 FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITAET JENA,DD 发明人 LENZNER,MATTHIAS,DD;BERGNER,HARALD,DD;DAMM,TOBIAS,DD
分类号 G01R31/308;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/308
代理机构 代理人
主权项
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