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VERFAHREN ZUR ERFASSUNG SCHNELL ABLAUFENDER PROZESSE IN INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN UNTER VERWENDUNG EINES LASER-RASTER-MIKROSKOPES MIT OBIC-STUFE
摘要
申请公布号
DD273695(A1)
申请公布日期
1989.11.22
申请号
DD19880317516
申请日期
1988.07.04
申请人
FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITAET JENA,DD
发明人
LENZNER,MATTHIAS,DD;BERGNER,HARALD,DD;DAMM,TOBIAS,DD
分类号
G01R31/308;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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