发明名称 PROCEDE DE NETTOYAGE EN SURFACE PAR PLASMA DIFFERE
摘要 <P>L'invention consiste à soumettre l'objet 10 à nettoyer à l'action d'un plasma froid différé, en le plaçant dans la chambre d'expansion 7 d'une installation produisant un plasma froid, par exemple sous l'action d'une décharge micro-onde.</P><P>Le gaz plasmagène est de préférence un mélange d'azote et d'oxygène comportant une faible proportion d'un composé fluoré ou chloré, en particulier le trifluorure d'azote.</P><P>L'invention s'applique au nettoyage d'objets en acier inoxydable, céramique, porcelaine, verre, par dégradation de leur matières polluantes, par exemple huiles ou graisses mécaniques. Elle s'applique en particulier à la décontamination d'outils de l'industrie nucléaire.</P>
申请公布号 FR2631258(A1) 申请公布日期 1989.11.17
申请号 FR19880006607 申请日期 1988.05.10
申请人 PRESTATIONS SERVICES SPS 发明人 ODILE DESSAUX;BRIGITTE MUTEL;DANIEL SZURMINSKI
分类号 B08B5/02;B08B7/00;C23G5/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
主权项
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