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发明名称 EVAPORATOR
摘要
申请公布号 BG46224(A1) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 BG19850071778 申请日期 1985.09.23
申请人 KIEVSKIJ POLITEKHNICHESKIJ INSTITUT IM. <50- LETIJA VELIKOJ OKTJABRSKOJ SOTSIALISTICHESKOJ REVOLJUTSII> 发明人 LEVCHENKO, GEORGIJ T.;RADZINOVSKIJ, ALEKSANDR N.
分类号 H01L21/285;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/26 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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