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发明名称 DEVICE FOR GROWING EPITAXIAL FILM IN LIQUID PHASE
摘要
申请公布号 JPH01282188(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 JP19880110548 申请日期 1988.05.09
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON DEVICE ENG CORP 发明人 SUZUKI HIROO
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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