| 摘要 |
<P>a) Dispositif d'amenée et de dérivation de gaz pour le traitement en phase gazeuse de pièces.</P><P>b) Caractérisé en ce que la distribution de gaz est constituée par un corps de base en forme de plaque 1, par un dispositif, qui est contenu dans la surface du corps de base 1 en forme de plaque, de canules 5 disposées avec symétrie axiale dans des évidements, un premier dispositif de perçages disposés radialement 2 qui sont regroupés dans le corps de base 2 et à un ou plusieurs conduits d'amenée de gaz de réaction 7, et en ce que les évidements 6 sont reliés par un deuxième dispositif de perçages 3 en ce qu'en outre le côté du corps de base 1 en regard de la face de sortie de gaz présente un canal de refroidissement 9 avec afflux 10 et écoulement 11.</P><P>c) L'invention concerne un dispositif d'amenée et de dérivation de gaz pour le traitement en phase gazeuse de pièces.</P>
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