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经营范围
发明名称
PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01278719(A)
申请公布日期
1989.11.09
申请号
JP19880109709
申请日期
1988.05.02
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAKEI MICHIKO;TOKI MASAHIKO
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/305;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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