发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01278719(A) 申请公布日期 1989.11.09
申请号 JP19880109709 申请日期 1988.05.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKEI MICHIKO;TOKI MASAHIKO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/305;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址