发明名称 CRYSTAL GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01278014(A) 申请公布日期 1989.11.08
申请号 JP19880106805 申请日期 1988.04.28
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 NAKAMURA SEIICHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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