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发明名称
STRUKTURIERUNGSVERFAHREN, INSBESONDERE FUER DIE HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号
DD273333(A1)
申请公布日期
1989.11.08
申请号
DD19860290141
申请日期
1986.05.12
申请人
VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD
发明人
SELTMANN,ROLF,DD;WEISE,ALBRECHT,DD
分类号
H01L21/308;H01L21/42;(IPC1-7):H01L21/308
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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