摘要 |
Un micromanipulateur pour déplacer des objets permet des incréments variables jusqu'à 100 mum environ avec une grande précision de mouvement et un haut degré de miniaturisation. Le micromanipulateur est pourvu de languettes en bimatériaux (1, 2, 3, 4) pouvant être positionnées au moyen d'éléments chauffants et de capteurs. On déplace le porte-objet (6) en coordonnant de manière appropriée les mouvements des languettes. Le micromanipulateur permet au porte-objet d'effectuer tous les mouvements voulus sur un plan ainsi que des mouvements de rotation et de pivotement. Il est utile dans des systèmes sous vide et microscopiques. |