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发明名称 PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01273313(A) 申请公布日期 1989.11.01
申请号 JP19880101930 申请日期 1988.04.25
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 TOMITA MAKOTO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3205;H05K3/02;H05K3/06 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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