| 摘要 |
<p>REVESTIMIENTOS CERAMICOS, PROCEDIMIENTO PARA SU PRODUCCION Y DISPOSITIVOS ELECTRONICOS ASI REVESTIDOS. ESTA INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS AL DILUIR EN UN DISOLVENTE UNA MEZCLA PRECERAMICA CATALIZADA POR PLATINO O RODIO DE UNA RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIXANO Y UN PRECURSOR DE OXIDO METALICO SELECCIONADO DEL GRUPO FORMADO POR UN ALCOXIDO DE ALUMINIO, UN ALCOXIDO DE TITANIO, Y UN ALCOXIDO DE ZIRCONIO. LA SOLUCION DISOLVENTE DE LA MEZCLA PRECERAMICA SE APLICA A UN SUSTRATO Y CERAMIFICA POR CALENTAMIENTO. SE PUEDEN APLICAR UNO O MAS REVESTIMIENTOS CERAMICOS QUE CONTIENEN SILICIO Y CARBONO, SILICIO Y NITROGEBNO, O SILICIO, CARBONO Y NITROGENO, SOBRE EL REVESTIMIENTO DE OXIDO METALICO/SIO2 CERAMIFICADO. SE PUEDE APLICAR UN REVESTIMIENTO SUPERIOR CVD O PECVD PARA UNA PROTECCION ADICIONAL. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.</p> |
