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METODO PARA ENCAPSULAR CONDUCTORES. SE EXPONE UN METODO PARA FORMAR SUCESIVAS CAPAS DE METAL DE ANCHURAS VARIABLES SOBRE UN SUSTRATO. SE PROPORCIONA UNA MASCARA QUE TIENE UNA ABERTURA QUE VA DE PARTE A PARTE, INCLUYENDO LA MASCARA UNA PORCION DE CUELLO ESTRECHADA ENTRE SUS SUPERFICIES SUPERIOR E INFERIOR. SE APLICAN SECUENCIALMENTE SOBRE EL SUSTRATO A TRAVES DE LA ABERTURA DE LA MASCARA, POR METODOS DE ASPERSION, SUCESIVAS CAPAS DE METAL QUE FORMAN UNA CAPA METALICA MAS ANCHA QUE LA PORCION DE CUELLO ESTRECHADA DE LA MASCARA Y POR EL METODO DE DEPOSITO A VAPOR QUE FORMA UNA CAPA DE METAL MAS ESTRECHA QUE CORRESPONDE A LA DIMENSION TRANSVERSAL DE LA PORCION ESTRECHADA DE LA MASCARA. |
