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发明名称 PATTERN GENERATOR AND ITS CONTROLLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01270226(A) 申请公布日期 1989.10.27
申请号 JP19880099021 申请日期 1988.04.21
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 WATANABE KAZUO
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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