发明名称 PROCESS AND EQUIPMENT FOR MICRO-PATTERN FORMING ON
摘要
申请公布号 AU3323189(A) 申请公布日期 1989.10.26
申请号 AU19890033231 申请日期 1989.04.20
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION 发明人 TAKAAKI IGUCHI;TAKANORI TAMARI;TAKAAKI HIRA;KUNIO ISOBE;IKUO YARITA;HIDEO ABE
分类号 B21B27/02;B21H8/02;G03F7/24;G03F7/26 主分类号 B21B27/02
代理机构 代理人
主权项
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