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发明名称 METHOD OF PREVENTING ASYMMETRIC ETCHING OF LINES IN SUB-MICROMETER RANGE SIDEWALL IMAGES TRANSFER
摘要
申请公布号 EP0223994(A3) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 EP19860114062 申请日期 1986.10.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 OGURA, SEIKI;RISEMAN, JACOB;ROVEDO, NIVO;SCHULZ, RONALD NORMAN
分类号 G03F1/00;G03F1/08;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/76 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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