发明名称 INSULATION METHOD FOR INTEGRATED CIRCUITS, IN PARTICULAR WITH MOS AND CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 EP0245783(A3) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 EP19870106645 申请日期 1987.05.07
申请人 SGS MICROELETTRONICA S.P.A. 发明人 CAPPELLETTI, PAOLO GIUSEPPE
分类号 H01L27/08;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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