| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung duenner Schichten mit eingebauten Gasanteilen mittels einer Kathodenzerstaeubungsvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1515304(A1) |
申请公布日期 |
1969.08.14 |
| 申请号 |
DE19651515304 |
申请日期 |
1965.10.05 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
KAY,ERIC |
| 分类号 |
C23C14/35;G01N15/08;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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