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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01268020(A) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 JP19880096234 申请日期 1988.04.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIENO FUMITAKE;NAKAZAWA TSUTOMU
分类号 H01L21/205;H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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