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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPH01263267(A)
申请公布日期
1989.10.19
申请号
JP19880091189
申请日期
1988.04.12
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HASEGAWA TADASHI;WATABE JUNICHI;SATO KIYOTAKE;OKAMOTO KENJI;WATANABE KAZUHIRO
分类号
H05B33/10;C23C14/24
主分类号
H05B33/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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