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发明名称 OPTICAL APPARATUS FOR INPUTTING IMAGE OF MARK FOR POSITIONING
摘要
申请公布号 JPH01257205(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880084195 申请日期 1988.04.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IKEDA HIROSHI
分类号 G01B11/00;G06K7/10;H05K7/20;H05K13/04 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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