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发明名称 VAPOR PHASE REACTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01256118(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880084775 申请日期 1988.04.05
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KUBO TAKAYUKI;IKEGAMI KAORU;TAKASUKA EIRYO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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