| 发明名称 |
FORMATION OF GATE ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01256174(A) |
申请公布日期 |
1989.10.12 |
| 申请号 |
JP19880084374 |
申请日期 |
1988.04.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
SHIKADA SHINICHI |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/80;H01L29/872 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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