| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING CATHODE ASSEMBLY AND MAGNET ASSEMBLY THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0168143(B1) |
申请公布日期 |
1989.10.11 |
| 申请号 |
EP19850303559 |
申请日期 |
1985.05.21 |
| 申请人 |
GENERAL MOTORS CORPORATION |
发明人 |
KISNER, HOWARD DEAN |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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