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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING AN INTERVAL BETWEEN TWO OBJECTS
摘要
申请公布号 EP0332300(A3) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 EP19890301473 申请日期 1989.02.16
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 OHWADA, MITSUTOSHI;MATSUGU, MASAKAZU;SUDA, SHIGEYUKI;YOSHII, MINORU;NIWA, YUKICHI;NOSE, NORIYUKI;SAITOH, KENJI;HASEGAWA, MASANOBU
分类号 G03F9/00;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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