发明名称 (A) ;THIN LAYER THICKNESS MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0146608(B2) 申请公布日期 1989.10.09
申请号 JP19820015524 申请日期 1982.02.04
申请人 KASHIMA SEKYU KK 发明人 WATABE SHOZO
分类号 D01F9/12;D01F9/14 主分类号 D01F9/12
代理机构 代理人
主权项
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