发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01251637(A) 申请公布日期 1989.10.06
申请号 JP19880329270 申请日期 1988.12.28
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUSHITA IKUYA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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