| 发明名称 |
MICRO-CAPTEUR A TECHNOLOGIE INTEGREE POUR LA DETECTION DE LA PRESENCE DE CERTAINS GAZ |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2615287(B1) |
申请公布日期 |
1989.10.06 |
| 申请号 |
FR19870006635 |
申请日期 |
1987.05.12 |
| 申请人 |
CENTRE SUISSE ELECTRO MICROTECHN |
发明人 |
ALAIN GRISEL;VINCENT DEMARNE |
| 分类号 |
G01N27/12;(IPC1-7):G01N27/16;H01L27/00 |
主分类号 |
G01N27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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