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发明名称 JUDGMENT OF SHAPE OF MINUTE EMPTY HOLE
摘要
申请公布号 JPH01251733(A) 申请公布日期 1989.10.06
申请号 JP19880078712 申请日期 1988.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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