发明名称 PROCEDURE FOR THE MANUFACTURE OF AN OPTICAL COMPONENT HAVING ONE OR MORE ECHELETTE-GRATINGS AND DEVICE THEREBY OBTAINED
摘要
申请公布号 EP0242574(A3) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 EP19870103592 申请日期 1987.03.12
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 EHRFELD, WOLFGANG, DR.;MUNCHMEYER, DIETRICH, DR.
分类号 G02B6/293;G02B5/18;G02B6/122;G02B6/34;G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/20;G01J3/20 主分类号 G02B6/293
代理机构 代理人
主权项
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