| 发明名称 |
PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01247573(A) |
申请公布日期 |
1989.10.03 |
| 申请号 |
JP19880077908 |
申请日期 |
1988.03.30 |
| 申请人 |
BABCOCK HITACHI KK |
发明人 |
YAMAGUCHI YOSHIHIRO;SAKODA KOTARO;SHICHIDA HIROYUKI;YUASA HIROSHI;SHIBATA KENJI |
| 分类号 |
C23C16/48;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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