| 发明名称 |
PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE COATED WITH CARBON FILM AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01245562(A) |
申请公布日期 |
1989.09.29 |
| 申请号 |
JP19880072893 |
申请日期 |
1988.03.26 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;FUKUI TAKESHI;FUKADA TAKESHI;SAKAMA MITSUNORI;AMACHI NOBUMITSU;SAKAMOTO NAOYA;KODAMA MITSUFUMI;TAKAYAMA ICHIRO |
| 分类号 |
H01L27/146;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;H01L27/14;H01L31/02;H01L31/0248;H01L31/08;H04N1/028 |
主分类号 |
H01L27/146 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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