| 发明名称 |
VACUUM CONTAINING DEVICE FOR OPTICAL APPARATUS SUCH AS DIFFRACTION GRATING OR THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01245123(A) |
申请公布日期 |
1989.09.29 |
| 申请号 |
JP19880073716 |
申请日期 |
1988.03.28 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
TAKENOSHITA SOICHI |
| 分类号 |
G01J3/02;G01J3/12;G02B7/00;G21K1/06 |
主分类号 |
G01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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