发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01243516(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880071024 申请日期 1988.03.25
申请人 SONY CORP 发明人 WATANABE SEIICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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