| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01243548(A) |
申请公布日期 |
1989.09.28 |
| 申请号 |
JP19880069536 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
TAKAMATSU AKIRA;NISHIHARA SHINJI;MORITA SEIICHI |
| 分类号 |
H01L29/43;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L29/43 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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