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经营范围
发明名称
ION BEAM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01243449(A)
申请公布日期
1989.09.28
申请号
JP19880069432
申请日期
1988.03.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
SAKAMOTO TAKASHI
分类号
H01L21/3213
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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