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发明名称 VERFAHREN ZUR KONTROLLE VON GETTERMASSNAHMEN IN BIPOLARTECHNOLOGIEN
摘要
申请公布号 DD272132(A1) 申请公布日期 1989.09.27
申请号 DD19880314975 申请日期 1988.04.22
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 KUEHNE,HEINZ,DD;BARTH,RAINER,DD;SCHMALZ,KLAUS,DD;KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;PENNDORF,JUERGEN,DD;WEBER,CHRISTIAN,DD
分类号 G01N27/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/00 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
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