| 摘要 |
<p>Um bei Verdampfungsbeschichtung von Werkstücken 4 zu verhindern, dass Kathodenmaterialspritzer auf die Werkstücke gelangen, und dabei zum Vorsehen gleichzeitig zu beschichtender Werkstücke 4 einem möglichst grossen Raum 4' zur Verfügung zu stellen, werden von einer Kathode 8' abgedampfte Ionen um eine koaxial zur Kathode 8' angeordnete rohrförmige Sichtblende 20' radial nach aussen umgelenkt und Tragvorrichtungen 3 für die Werkstücke 4 an der Peripherie des Werkstückraumes 4' angeordnet.</p> |
