| 发明名称 |
DEVICE FOR HEATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01242778(A) |
申请公布日期 |
1989.09.27 |
| 申请号 |
JP19880067415 |
申请日期 |
1988.03.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANBARA HIDEAKI;TAKAHASHI NUSHITO;TAMURA NAOYUKI;TAKAHASHI KUNIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/50;C30B23/08 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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