发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD272168(A1) 申请公布日期 1989.09.27
申请号 DD19880314677 申请日期 1988.04.13
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 BANISCH,ROLF,DD;TILLACK,BERND,DD;RICHTER,HARALD,DD;JATZKOWSKI,GREGOR,DD
分类号 H01L21/314;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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