发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01241091(A) 申请公布日期 1989.09.26
申请号 JP19880067452 申请日期 1988.03.23
申请人 HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 KAWASE YASUSHI;HORIGUCHI SHINJI;TANAKA HITOSHI;IKENAGA SHINICHI;ETO JUN;AOKI MASAKAZU;ITO KIYOO
分类号 G11C11/413;G11C11/34;G11C11/401;G11C11/407;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10 主分类号 G11C11/413
代理机构 代理人
主权项
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