发明名称 HOLOGRAPHIC METHOD FOR GENERATING MASKING PATTERNS
摘要
申请公布号 US3537854(A) 申请公布日期 1970.11.03
申请号 USD3537854 申请日期 1968.05.15
申请人 INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 ALLEN W. GROBIN JR.;JERRY L. REYNOLDS;RODMAN S. SCHOOLS;GLENN T. SINCERBOX
分类号 G03H1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/00;G03C5/00 主分类号 G03H1/00
代理机构 代理人
主权项
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