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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01240654(A)
申请公布日期
1989.09.26
申请号
JP19880064000
申请日期
1988.03.17
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
MANABE YOSHIO;MITSUYU TSUNEO
分类号
C23C14/36;C23C14/35
主分类号
C23C14/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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