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发明名称
DIELECTRIC STRENGTH INSPECTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01239481(A)
申请公布日期
1989.09.25
申请号
JP19880066423
申请日期
1988.03.18
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
TAKAYANAGI TOSHIKAZU
分类号
G01R31/12;H01L21/66
主分类号
G01R31/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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